铬锆铜材料的热出气性能研究

  采用双通道气路转换法测量了铬锆铜材料的出气率。对经过150℃，保温24 h烘烤的铬锆铜，测得的出气率为2.89×10-10 Pa·L·s-1· cm-2(等效氮气)，烘烤温度提升至250℃时，铬锆铜的出气率降低约一个数量级。铬锆铜在真空炉中进行400℃，保温24 h除气处理后，仅经过150℃，保温24 h烘烤，出气率即低至1.64× 10-11 Pa·L·s-1·cm-2，进一步提升烘烤温度，出气率变化不大。通过X射线光电子谱分析铬锆铜在不同温度下的表面成分。
  在250℃时，铬锆铜表面Cu的氧化物已经基本完全分解，在400℃时，铬锆铜体内的Cr析出至表面，降至室温，Cr仍保留在表面。铬锆铜表面氧化层成分的变化是造成其出气率差异的原因。